串聯(lián)臂壓電微電機及驅(qū)動電源的研究
發(fā)布日期:2019/7/5點擊次數(shù):1412
串聯(lián)臂壓電微電機驅(qū)動和控制原理卡電品片在外加電場的作用1將伸長或縮7短將兩個極性相反的壓電晶片粘接在起,形成壓電雙晶片。在電場的作用下,兩個壓電晶片分別伸長和縮短,壓電雙晶片發(fā)生彎曲13,在各自電場的作用下,片1伸長,片2縮短,由于兩個壓電晶片的相互約束,該單元向右彎曲,本文稱該壓電雙晶片為彎曲臂。
將兩個彎曲臂串聯(lián)起來構(gòu)成串聯(lián)彎曲臂,在特定本文于2000年3月收到。
IflI串聯(lián)彎曲臂自由端橢圓運動形成機理而形成串聯(lián)臂壓電微電機3串聯(lián)臂壓電微電機驅(qū)動電路如上所述,串聯(lián)臂壓電微電機可用相位差為兀2路可由信號發(fā)生器和放大兩部分組成,信號發(fā)生器通過對單路方波信號移相產(chǎn)生兩路相位差為;2的方波口相電路農(nóng)用模擬成數(shù)寧電路如果采用模擬,相屯路,即網(wǎng)絡(luò),在調(diào)整信號頻率時。1利用單片機作為數(shù)字信號發(fā)生電路,以保證較高的移彎曲背2電壓信號動。在特定的電信號驅(qū)動下,使彎曲臂1和臂2處于不同的彎曲狀態(tài),則彎曲臂自由端依次通過2,3,4點,形成橢圓運動1切中的2,3,4點對應(yīng)的彎曲臂1和彎曲臂撕控制信號如1所控制信號臂1臂2相位,為相位差為冗2的方波,波形2在中,串聯(lián)彎曲臂的自由端運動到點1時,臂1和臂2的外加電壓都為零,串聯(lián)臂不發(fā)生彎曲;自由端運動到點2時,行1的外加電壓為斗;發(fā)生彎曲。而臂2外加電壓分別為時,自由端運動到點3;電壓為時,自由端運動到點4所以對臂1和臂2分別加上相位差為72的偏置方波信號,將使臂1和臂2相精度和可靠性串聯(lián)臂壓電微電機的驅(qū)動電路由單片機信號發(fā)生電路及功率開關(guān)放大電路等部分組成,信號發(fā)生電路產(chǎn)生的信號,作為放大電路的控制信號,控制驅(qū)動電源率的電源下面分,介紹驅(qū)動電路的組成部分,3.1信號發(fā)生電路利用單片機的內(nèi)部定時器功能就可以產(chǎn)生方波信號,通過單片機的外部擴展芯片及電路,可調(diào)節(jié)方波信號的頻率信號發(fā)生電路可由單片機及鍵盤顯接口芯片8279瓦1等構(gòu)成,產(chǎn)生頻率可調(diào)的方波倍號。新代551單片機的性能不斷改善,提高了主振頻率,在單片機輸出信號較高的情況下,也能獲得較高的精度。8279是專用的鍵盤,顯控制芯片。能對顯小器動描使叫它討允分提高1工作效率。
減少方波信號的頻率誤差基于上述原理,設(shè)計了3的信號發(fā)生電路,1;1和鎖存器構(gòu)成1片機的,序存儲器擴展電路,系統(tǒng)軟件固化在如河中。通過鍵盤按鈕可以發(fā)出調(diào)節(jié)信號頻率的命令,在8279的控制下,通過顯設(shè)備顯頻率值鍵盤發(fā)出的命令通過8279輸出,送入單片機,1接收到命令后,轉(zhuǎn)入相應(yīng)的處,程序,從而改變輸出信4的頻率,并將該信號輸從單片機輸出的路方波倍14.經(jīng)過次反向形成與原信號相位差為的方波信號4,兩路相位相反的方波信號分別經(jīng)過級上升沿觸發(fā)的發(fā)器進行分頻,將兩發(fā)器輸出上接第5頁端產(chǎn)生的方波信號作為信號發(fā)生電路的輸出信號4中的郝1由于分頻前兩路信號的相位差為兀,所以分頻后兩路信號的相位差為23!
3.2放大電路為使驅(qū)動電源有足夠的功率驅(qū)動串聯(lián)彎曲臂壓電微電機,要采用放大電路進行功率放大驅(qū)動電路的放大部分采用常用的功率開關(guān)放大電路,即應(yīng)用0,0變換電路,使用具有開關(guān)速度高損耗小驅(qū)動功率+驅(qū)動屯路簡單等優(yōu)點的功率場效應(yīng)矜16廠了管作開關(guān)器件4,串聯(lián)臂壓電微電機所需的能量由直流電源提供在信號發(fā)生電路產(chǎn)生的兩路相位差為兀2的信號分別控制下,通過兩套功率開關(guān)放大電路,可實現(xiàn)符合串聯(lián)臂壓電微電機驅(qū)動功率要求4結(jié)論以壓電雙晶片構(gòu)成的串聯(lián)臂為驅(qū)動元件驅(qū)動電機轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動分析了串聯(lián)臂壓電微電機的控制方法,用相位差2的兩路偏置方波信號作為電機的驅(qū)動信號,并說明了驅(qū)動電路的設(shè)計方案